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廣泛應用于面板,、太陽能、冶金系統(tǒng),、鍍膜,、電漿制程、干燥處理,、制程氣體抽取,、制程氣體抽取、生技/制藥,、化工產業(yè),。
排氣路徑短，減少反應物沉積
線型密封性佳,，泵浦性能優(yōu)
結構簡單,，故障率低，維修容易
微電腦操作,，遠端監(jiān)控,，保護周全
500-1500m3/h(50Hz)
600-1800m3/h(60Hz)
1X10-3mbar
暫無數(shù)據！
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