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廣泛應(yīng)用于面板、太陽能,、冶金系統(tǒng),、鍍膜、電漿制程,、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取,、生技/制藥,、化工產(chǎn)業(yè)。
排氣路徑短,，減少反應(yīng)物沉積
線型密封性佳,，泵浦性能優(yōu)
結(jié)構(gòu)簡單，故障率低,，維修容易
微電腦操作,，遠端監(jiān)控，保護周全
500-1500m3/h(50Hz)
600-1800m3/h(60Hz)
1X10-3mbar
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