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5-10萬元型號
YHGS-I品牌
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簡介
1200℃加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長雙溫區(qū)管式實驗電爐，多通道高精度質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng),，高真空分子泵系統(tǒng)等組成,。可實現(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積,、擴散實驗,。同時上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評價遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu) 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,，保溫性能好 雙層殼體結(jié)構(gòu),，內(nèi)置風(fēng)冷層，有效降低外殼表面溫度 爐蓋可開啟,，可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz,；功率：8kW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,，耐腐蝕,，熱膨脹系數(shù)極小,； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放,、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣,、真空抽口針閥,，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲，表面負(fù)荷高,、經(jīng)久耐用,； 加熱區(qū)長度：350mm*2； 恒溫區(qū)長度：450mm,； 工作溫度：≤1150℃,； **溫度：1200℃； 升溫速率：推薦≤10℃/min,； *快升溫速度30℃/min. |
溫控系統(tǒng) | 日本富士儀表,，64段控溫程序，可分步,、分段,； 測溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法蘭上預(yù)留一路浮子流量計，流量規(guī)格0.3-3L/min |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵+分子泵,，極限真空可達4.0*10-4Pa 復(fù)合真空計顯示,，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/s，風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu) 配置真空角閥,、波紋管,、壓差式充氣閥 |
可選配件 | 冷水機，各種剛玉,、石英坩堝,，石英管，計算機控制軟件等 |
保修期 | 整機一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶要求定制,！
特色與優(yōu)勢
1.加長雙溫區(qū)爐體,，大大加長了實驗區(qū)域的溫度均勻性；
2.開啟式爐蓋設(shè)置,，降低沉積溫度,、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表,，64段控溫程序,，可分布，分段,，三路質(zhì)量流量計,，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵,，實現(xiàn)對真空度的不同要求,，極限真空可達4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量計及三路高精度質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng),，可滿足不同氣氛下的實驗要求,；
6.內(nèi)置S型熱電偶，可快速,、實時監(jiān)測反應(yīng)物料的溫度變化情況,；
7.尾氣活性炭過濾處理,，減少反應(yīng)氣體排放對實驗室環(huán)境的影響,。
暫無數(shù)據(jù)！
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