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等離子體技術(shù)工藝簡(jiǎn)單,，吸附法要考慮吸附劑的定期更換,，脫附時(shí)還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度,；聯(lián)合催化法中,，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過(guò)高)會(huì)造成催化劑失活,，光催化法只能利用紫外光等,；生物法要嚴(yán)格控制pH值、溫度和濕度等條件,，以適合微生物的生長(zhǎng),。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓,，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，并可同時(shí)消除混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會(huì)產(chǎn)生二次污染等,。

低溫等離子體去除污染物的機(jī)理：

(1) 電場(chǎng)＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子,、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基團(tuán)

(3) 活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱

從以上過(guò)程可以看出,，電子首先從電場(chǎng)獲得能量,，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā),，同時(shí)有部分分子被電離,，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子,、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱,。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲,，成為負(fù)離子,。這類(lèi)負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用,。 

等離子有機(jī)廢氣凈化設(shè)備廣泛用于：治理油煙粉塵領(lǐng)域,，如大型火力發(fā) 電廠(chǎng)、卷煙廠(chǎng),、紡織廠(chǎng),、印刷廠(chǎng)、造紙廠(chǎng),、鋼鐵廠(chǎng),、水泥廠(chǎng)等。治理廢氣、異 味氣體領(lǐng)域,，如污水,、垃圾處理廠(chǎng)、泵站,、石化廠(chǎng),、化工廠(chǎng)、制藥廠(chǎng),、卷煙廠(chǎng) ,、香精廠(chǎng) 、屠宰場(chǎng)等,?？諝鈨艋矫妫玑t(yī)院,、餐飲,、賓館、娛樂(lè)場(chǎng)所,、車(chē) 船,，候車(chē)室等公共場(chǎng)所、及辦公室,、家庭,、轎車(chē)、實(shí)驗(yàn)室等,。