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等離子體技術(shù)工藝簡單,，吸附法要考慮吸附劑的定期更換,，脫附時(shí)還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度,；聯(lián)合催化法中,，催化劑存在選擇性,，某些條件(如溫度過高)會造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等,；生物法要嚴(yán)格控制pH值,、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長,。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足,，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡單,，并可同時(shí)消除混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用),，不會產(chǎn)生二次污染等。
低溫等離子體去除污染物的機(jī)理：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子,、受激基團(tuán),、游離基團(tuán)) 活性基團(tuán)
(3) 活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量,，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去,，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離,，從而成為活性基團(tuán),；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱,。另外,，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子,。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性,，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
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