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特點：適用于壓力范圍為0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr,，需要抽速較大的應(yīng)用場合
運行壓力相對較低，可靠性極高
ZRS系列屬于高品質(zhì),、無油泵結(jié)構(gòu)
有效的軸封確保油不會進入泵腔,，而且由于沒有內(nèi)部和外部旁通管路和閥這些可能會被腐蝕的部件，因此將維護需求降至*低
對軸封的設(shè)計進行了優(yōu)化,，以確保潤滑劑不會遷移到泵腔,，使泵在清潔度
要求極高的環(huán)境下發(fā)揮增壓泵的性能。此外,，還可以防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子凸角和端面上聚集微塵顆粒
動平衡的轉(zhuǎn)子及精密研磨齒輪使泵的運行平穩(wěn),、靜音，以滿足先進技術(shù)設(shè)備制造商的要求
應(yīng)用：真空包裝,、干燥及脫氣,、真空冶金、真空蒸餾,、薄膜涂層,、低密度風(fēng)洞、空間模擬,、真空浸漬,、冷凍干燥
暫無數(shù)據(jù)！
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