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中國粉體網(wǎng)訊  隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,，材料創(chuàng)新成為突破性能瓶頸的關(guān)鍵,。金剛石憑借其卓越的硬度、導(dǎo)熱性及潛在的半導(dǎo)體特性,，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的多個環(huán)節(jié)中已展現(xiàn)出巨大的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用價值,。其中，金剛石微粉作為磨拋料,，以其超精密加工能力,，顯著提升了半導(dǎo)體晶片的表面質(zhì)量和生產(chǎn)效率，成為半導(dǎo)體制造不可或缺的一環(huán),。

從2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會組委會獲悉,，本屆會議將于2024年12月24日在鄭州舉辦。北京中科美安科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席,。

北京中科美安科技有限公司

公司以⼤連化學(xué)物理研究所為技術(shù)依托,，研發(fā)系列⾦屬鈀復(fù)合膜超純氫⽓純化器，⽤于制取超⾼純氫⽓,。

實現(xiàn)6N ~ 9N ~ 12N超⾼純度,，滿⾜半導(dǎo)體、多晶硅,、⼈造鉆⽯加⼯,、航天、軍⼯,、⽯油化⼯等領(lǐng)域?qū)Τ?#12220;純氫⽓的需求,。

20年深度積累核⼼技術(shù)

來自中科院⼤連化物所，20年研發(fā)積累,，獨家超薄⾦屬鈀復(fù)合膜技術(shù),，⾼質(zhì)量實現(xiàn)氫提純能⼒。獲得國家發(fā)明專利兩項,。全國第⼀,，全球TOP3。

相⽐PSA,，化學(xué)吸附技術(shù),，鈀膜是實現(xiàn)氫⽓超⾼純化的最佳⽅案,。

⾦屬鈀能以溶解-擴(kuò)散的⽅式選擇性透過氫⽓，簡單來講,，只有氫⽓能透過鈀膜,，其他⽓體都透不過去，因此分離氫⽓的純度能達(dá)到8個9以上,。上世紀(jì)70年代就已經(jīng)被⽤于為半導(dǎo)體⾏業(yè)提供超純氫,。但⽬前國內(nèi)市場上主要是進(jìn)⼝的鈀管產(chǎn)品，厚度⾄少在15微⽶以上,，價格昂貴,，⽽且其透氫量很低，裝置投資和分離能耗很⾼,，制氫成本和制氫規(guī)模⽆法滿⾜未來規(guī)?；瘧?yīng)⽤的需求。將⾦屬鈀膜負(fù)載在多孔⽀撐體的表⾯,，可以制備⾦屬鈀復(fù)合膜,，厚度可以降低到5微⽶左右，制備廉價的⾦屬鈀復(fù)合膜,，同傳統(tǒng)鈀管相⽐,，其貴⾦屬⽤量降低10倍，并且可以獲得更⼤的透氫量,，使裝置投資和純化成本⼤幅度降低,，具有明顯的技術(shù)經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。

量產(chǎn)能⼒

突破超薄不銹鋼鈀膜制備瓶頸,，達(dá)到DOE2015指標(biāo)國際上率先攻克制備難題并批量⽣產(chǎn),，成品率>90%；

多孔不銹鋼底膜制備突破國外壟斷,，成本下降90%,；

綜合成本相較國際解決⽅案降低95%。

已交付使⽤

• 北京冬奧會液態(tài)陽光加氫站（李燦院⼠項⽬）50kg/天,；

• H公司產(chǎn)線60臺應(yīng)⽤,，7N ~ 10N 純度；

• 某⼈造鉆⽯企業(yè),，40臺應(yīng)⽤,，7N ~ 10N 純度；

• 四川某多晶硅產(chǎn)線應(yīng)⽤,，7N純度,，200Nm³/h流速

產(chǎn)品型號列表

適配于⼩流量場景下的鈀膜氫⽓純化解決⽅案。

同時還具備超⼤流量和12N級氫純化⽅案：

最⾼純度可達(dá)12N,；

最⾼流量可達(dá)800Nm³

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